SJ 21120-2016 高电子迁移率晶体管用半绝缘砷化稼 抛光片规范
标准编号：SJ 21120-2016
中文名称：高电子迁移率晶体管用半绝缘砷化稼 抛光片规范
英文名称：Specification for semi-insulating gallium arsenide polished wafers for high electron mobility transistor
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2016-01-19
实施日期：2016-03-01
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