DB31/ 506-2020 集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额

标准编号：DB31/ 506-2020

中文名称：集成电路晶圆制造单位产品能源消耗限额

英文名称：The norm of energy consumption per unit product of wafer fabrication in integrated circuits

发布部门：上海市市场监督管理局

发布日期：2020-09-25

实施日期：2020-12-01

标准状态：现行

替代标准：DB31/ 506-2010

标准页数：8页

内容简介：本文件规定了集成电路晶圆制造过程的单位产品能源消耗（以下简称能耗)限额的技术要求、统计范围、计算方法、节能管理与措施。本文件适用于集成电路晶圆制造企业单位产品能耗的计算与考核，以及对新建及改扩建项目的能耗控制。本文件不适用于12英寸40 nm及以下工艺制程的集成电路制造企业。