T/IAWBS 005-2018 6 英寸碳化硅单晶抛光片

标准编号:T/IAWBS 005-2018

中文名称:6 英寸碳化硅单晶抛光片

英文名称:6 inch polished monocrystalline silicon carbide wafers

发布部门:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟

发布日期:2018-12-06

实施日期:2018-12-17

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