GB/T 31351-2014 碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

标准编号：GB/T 31351-2014

中文名称：碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法

英文名称：Nondestructive test method for micropipe density of polished monocrystalline silicon carbide wafers

发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会

发布日期：2014-12-31

实施日期：2015-09-01

标准状态：现行

标准页数：6页

内容简介：本标准规定了4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片的微管密度的无损检测方法。本标准适用于4H晶型和6H晶型碳化硅单晶抛光片经单面抛光或双面抛光后、微管的径向尺寸在一微米至几十微米范围内的微管密度的测量。