JJF(冀) 213-2023 关键尺寸扫描电子显微镜校准规范

标准编号：JJF(冀) 213-2023

中文名称：关键尺寸扫描电子显微镜校准规范

发布部门：河北省市场监督管理局

发布日期：2023-08-02

实施日期：2023-11-01

标准状态：即将实施

标准页数：13页

内容简介：本规范适用于放大倍数 20k~200k 的关键尺寸扫描电子显微镜（CD-SEM）的校准。