GB/T 29190-2012 扫描探针显微镜漂移速率测量方法

标准编号：GB/T 29190-2012

中文名称：扫描探针显微镜漂移速率测量方法

英文名称：Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope

发布部门：国家质量监督检验检疫总局、国家标准化管理委员会

发布日期：2012-12-31

实施日期：2013-06-01

标准状态：现行

标准页数：19页

内容简介：本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格，及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。本标准适用于0.01 nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。