T/NXCL 28-2024 半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚

标准编号：T/NXCL 28-2024

中文名称：半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚

英文名称：Synthetic quartz crucible for semiconductor grade monocrystalline silicon growth

发布部门：宁夏材料研究学会

发布日期：2024-02-02

实施日期：2024-02-02

标准状态：现行

标准页数：8页

内容简介：本文件规定了半导体级单晶硅生长用合成石英坩埚的术语和定义、规格尺寸、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。本文件适用于合成石英砂（成分：二氧化硅）为内层原料，采用电弧熔融法工艺生产，应用于直拉法半导体级单晶硅生长的石英坩埚。