T/SEPA 5-2022 局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术 第2部分：残余应力测定与调控规程

标准编号：T/SEPA 5-2022

中文名称：局部放电EFPI光纤超声传感器探头MEMS制造技术 第2部分：残余应力测定与调控规程

英文名称：MEMS fabrication technology of EFPI fiber optic ultrasonic sensor probe for partial discharge detection Part 2: measurement and regulation of residual stress

发布部门：上海市电力行业协会

发布日期：2022-12-01

实施日期：2023-02-01

标准状态：现行

标准页数：14页

内容简介：本文件规定了采用MEMS技术制作局部放电EFPI光纤超声传感器探头时SOI硅片敏感结构的残余应力测定与调控，包括残余应力的分类与来源、应力测定以及应力调控。本文件适用于电力设备局部放电EFPI超声传感器探头SOI芯片的残余应力测定与调控。