T/CIECCPA 007-2024 半导体工业氮氧化物排放要求

标准编号：T/CIECCPA 007-2024

中文名称：半导体工业氮氧化物排放要求

英文名称：Semiconductor Industry Nitrogen Oxide Emission Requirements

发布部门：中国工业节能与清洁生产协会

发布日期：2024-03-04

实施日期：2024-03-08

标准状态：即将实施

标准页数：11页

内容简介：本文件规定了半导体行业工业生产过程中产生的大气污染物氮氧化物排放标准限值、检测要求、达标判定的要求。