JC/T 2243-2014 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
标准编号：JC/T 2243-2014
中文名称：等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
英文名称：Quartz tube covered in film for PECVD
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
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标准编号：JC/T 2243-2014
中文名称：等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管
英文名称：Quartz tube covered in film for PECVD
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
发布日期：2014-10-14
实施日期：2015-04-01
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