T/ICMTIA 4.2-2020 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类
标准编号：T/ICMTIA 4.2-2020
中文名称：集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类
英文名称：ArF photoresist monomer for integrated circuits Part 2: Solid methacrylate
发布部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟
发布日期：2020-12-31
实施日期：2021-03-01
温馨提示：
如果点击下载后没有反应或速度过慢等问题，请尝试更换下载地址或稍后再试。