T/BEA 40001-2022 感应耦合等离子体发生器校准规范

标准编号：T/BEA 40001-2022

中文名称：感应耦合等离子体发生器校准规范

英文名称：Calibration specification for inductively coupled plasma generator

发布部门：北京电子仪器行业协会

发布日期：2022-01-18

实施日期：2022-02-09

标准状态：现行

标准页数：11页

内容简介：本标准适用于真空环境下使用的新制造（或新购置）和修理后的感应耦合等离子体发生器等离子体参数的校准和周期性校准。