T/CPIA 0106-2025 晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范

标准编号：T/CPIA 0106-2025

中文名称：晶体硅光伏电池用卧式炉管安全设计规范

发布部门：中国光伏行业协会

发布日期：2025-03-15

实施日期：2025-03-30

标准状态：即将实施

标准页数：25页

内容简介：本文件描述了晶体硅光伏电池用卧式炉管可能产生的威胁人身安全、设备安全和产品安全的风险因素，规定了应采取的防护措施和设计要求。本文件适用于晶体硅光伏电池用扩散炉、氧化炉、退火炉、PECVD、LPCVD、PEALD等卧式炉管设备。