GB/T 35158-2017 俄歇电子能谱仪检定方法

标准编号：GB/T 35158-2017

中文名称：俄歇电子能谱仪检定方法

英文名称：Verification method for Auger electron spectrometers

发布部门：国家质检总局 国家标准委

发布日期：2017-12-29

实施日期：2018-11-01

标准状态：现行

标准页数：60页

内容简介：本标准规定了俄歇电子能谱仪(Auger electron spectrometer)的检定方法。本标准适用于激发源为电子束，且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。