T/CASAS 025-2023 8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸

标准编号：T/CASAS 025-2023

中文名称：8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸

英文名称：8-inch silicon carbide wafer reference marking and dimensions

发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟

发布日期：2023-06-19

实施日期：2023-06-19

标准状态：现行

标准页数：9页

内容简介：本文件规定了8英寸碳化硅衬底片基准标记及尺寸。本文件适用于碳化硅切割片、研磨片和抛光片。注： 碳化硅衬底片主要用于制作电力电子器件的外延衬底。