GB/T 32999-2016 表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率

标准编号：GB/T 32999-2016

中文名称：表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率

英文名称：Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate:mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

发布日期：2016-10-13

实施日期：2017-09-01

标准状态：现行

标准页数：20页

内容简介：本标准只适用于横向均匀的体相材料或单层材料，其离子溅射速率由溅射深度与溅射时间确定，溅射深度通过机械探针轮廓仪测得。本标准提供了一种将深度剖析中的离子溅射时间转换为溅射深度的方法，并假设溅射速率恒定。本方法不是为扫描探针显微系统设计的，因此不能用扫描探针显微系统评价该方法。