GB/T 26069-2010 硅退火片规范

标准编号：GB/T 26069-2010

中文名称：硅退火片规范

英文名称：Specification for silicon annealed wafers

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

发布日期：2011-01-10

实施日期：2011-10-01

标准状态：现行

标准页数：8页

内容简介：本标准规定了半导体器件和集成电路制造用硅退火抛光片的要求、试验方法、检验规则等。本标准适用于线宽180nm、130nm和90nm工艺退火硅片。