T/CI 334-2024 半导体设备隔振系统设计及技术要求

标准编号：T/CI 334-2024

中文名称：半导体设备隔振系统设计及技术要求

英文名称：Design and technical requirements for isolation systems in semiconductor equipments

发布部门：中国国际科技促进会

发布日期：2024-04-18

实施日期：2024-04-18

标准状态：现行

标准页数：9页

内容简介：本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。 本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。 本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷。