JJF 1967-2022 激光衍射法反射光栅校准规范

标准编号：JJF 1967-2022

中文名称：激光衍射法反射光栅校准规范

英文名称：Calibration Specification for Reflection Gratings by Laser Diffraction

发布部门：国家市场监督管理总局

发布日期：2022-04-29

实施日期：2022-10-29

标准状态：现行

标准页数：29页

内容简介：本规范适用于平均间距为(140～2 000)nm、能观测到衍射现象的一维或二维反射光栅的校准。