SJ 21128-2016 卧式等离子体化学气相淀积设备(PECVD)通用规范
标准编号：SJ 21128-2016
中文名称：卧式等离子体化学气相淀积设备(PECVD)通用规范
英文名称：General specification for horizontalplasma enhanced chemical vapor deposition equipment
发布部门：国家国防科技工业局
发布日期：2016-01-19
实施日期：2016-03-01
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