SN/T 5822-2025 可循环利用的溅射后靶材检验 高纯金属靶材

标准编号：SN/T 5822-2025

中文名称：可循环利用的溅射后靶材检验 高纯金属靶材

发布部门：中华人民共和国海关总署

发布日期：2025-07-25

实施日期：2026-02-01

标准状态：现行

标准页数：15页

内容简介：本文件规定了可循环利用的溅射后高纯金属靶材的检验流程、检验内容和结果判别。本文件适用于可循环利用的溅射后高纯金属靶材的检验。