T/CHPSA YY005-2024 半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求

标准编号：T/CHPSA YY005-2024

中文名称：半导体超纯聚合物过流部件污染物检测及表面粗糙度技术要求

英文名称：Technical specification for contamination and surface roughness of wet components made of ultrapure polymer materials used in semiconductor processing

发布部门：中国液压气动密封件工业协会

发布日期：2024-11-01

实施日期：2024-12-01

标准状态：现行

标准页数：14页

内容简介：本文件规定了半导体超纯聚合物过流部件污染物检测方法及表面粗糙度技术要求、数据整理与检测报告等。本文件适用于超纯可熔性聚四氟乙烯（PFA）、聚四氟乙烯(PTFE)、聚偏氟乙烯(PVDF)等聚合物过流部件污染物及表面粗糙度检测。