T/CIET 722-2024 半导体用高纯溅射靶材

标准编号：T/CIET 722-2024

中文名称：半导体用高纯溅射靶材

发布部门：中国国际经济技术合作促进会

发布日期：2024-10-23

实施日期：2024-10-23

标准状态：现行

标准页数：16页

内容简介：本文件规定了半导体用高纯溅射靶材的技术要求、试验方法、检验规则、标识、包装、运输、贮存。本文件适用于半导体用高纯溅射靶材。