T/CIET 1279-2025 碳化硅单晶生长技术规范 物理气相传输法（PVT）

标准编号：T/CIET 1279-2025

中文名称：碳化硅单晶生长技术规范 物理气相传输法（PVT）

发布部门：中国国际经济技术合作促进会

发布日期：2025-05-14

实施日期：2025-05-14

标准状态：现行

标准页数：12页

内容简介：本文件规定了碳化硅单晶生长物理气相传输法（PVT）的工艺原理、设备要求、工艺过程、质量控制、安全与环保等内容。本文件适用于采用PVT法生长碳化硅单晶的工艺过程、设备、材料、质量控制等相关技术要求，明确所涵盖的碳化硅单晶的晶型、尺寸范围等。