T/CCGA 30009-2025 电子级混合气体配制技术要求

标准编号：T/CCGA 30009-2025

中文名称：电子级混合气体配制技术要求

发布部门：中国工业气体工业协会

发布日期：2025-04-25

实施日期：2025-05-25

标准状态：现行

标准页数：7页

内容简介：本文件规定了电子级混合气体的配制或制备的基本要求、设备设施要求、技术要求、配制要求,标志、包装及使用要求。本文件适用于电子级混合气体的配制或制备。