T/CI 961-2025 半导体设备用碳化硅陶瓷零部件

标准编号：T/CI 961-2025

中文名称：半导体设备用碳化硅陶瓷零部件

发布部门：中国国际科技促进会

发布日期：2025-04-15

实施日期：2025-04-15

标准状态：现行

标准页数：10页

内容简介：本文件规定了半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的术语和定义、产品结构和分类、生产工艺、技术要求、试验方法、检验规则和应用。本文件适用于半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的生产制造和应用。