DB13/T 6141-2025 高纯度钨部件性能评价方法

标准编号：DB13/T 6141-2025

中文名称：高纯度钨部件性能评价方法

发布部门：河北省市场监督管理局

发布日期：2025-05-27

实施日期：2025-06-03

标准状态：现行

标准页数：8页

内容简介：本文件规定了半导体制造用高纯度钨部件化学成分、物理性能的评价方法,包括检测原理、试剂或材料、仪器设备、样品、测定步骤及结果处理等。本文件适用于半导体制造用高纯度钨部件的金属杂质元素和物理性能的评价。