T/CASAS 053-2025 氮化铝抛光片位错密度的测试 腐蚀坑法

标准编号：T/CASAS 053-2025

中文名称：氮化铝抛光片位错密度的测试 腐蚀坑法

发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟

发布日期：2025-05-20

实施日期：2025-05-20

标准状态：现行

标准页数：10页

内容简介：本文件描述了用择优化腐蚀技术测试氮化铝抛光片中位错密度的方法。本文件适用于抛光加工后位错密度小于107 个/cm2的氮化铝抛光片位错密度的测试，适用于1 inch、2 inch、3 inch、4 inch直径氮化铝抛光片的测试。氮化铝外延片可参照使用。