T/ZZB 3947-2025 硅舟

标准编号：T/ZZB 3947-2025

中文名称：硅舟

发布部门：浙江省质量协会

发布日期：2025-12-20

实施日期：2025-12-31

标准状态：现行

标准页数：12页

内容简介：本文件规定了硅舟的产品分类、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存以及质量承诺。本文件适用于硅单晶、硅多晶加工成的应用于氧化、扩散、退火及化学气相沉积(CVD)工艺直径150 mm~350 mm的拼接式、熔接式硅舟。