T/CASAS 54-2025 氮化铝晶片吸收系数测试方法

标准编号：T/CASAS 54-2025

中文名称：氮化铝晶片吸收系数测试方法

发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟

发布日期：2025-05-20

实施日期：2025-05-20

标准状态：现行

标准页数：15页

内容简介：本文件描述了氮化铝（AlN）抛光片光吸收系数的测试方法，包括原理、仪器设备、测试条件、样品、测试步骤、结果计算和测试报告。本文件适用于氮化铝抛光片的光学质量控制和评估。氮化铝外延片可参照使用。