T/IAWBS 023-2025 金刚石单晶表面应力分布测定 拉曼光谱法
标准编号:T/IAWBS 023-2025
中文名称:金刚石单晶表面应力分布测定 拉曼光谱法
发布部门:中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟
发布日期:2025-09-24
实施日期:2025-10-10
标准状态:即将实施
标准页数:8页
内容简介:本文件规定了立方金刚石单晶表面应力分布的测试方法。本文件适用于立方金刚石单晶表面应力分布的测试。
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