T/CASME 1953-2025 半导体设备用全氟醚橡胶密封制品

标准编号：T/CASME 1953-2025

中文名称：半导体设备用全氟醚橡胶密封制品

英文名称：Perfluoro ether rubber sealing products for semiconductor equipment

发布部门：中国中小商业企业协会

发布日期：2025-03-21

实施日期：2025-04-21

标准状态：现行

标准页数：11页

内容简介：本文件适用于工作温度范围为-45?℃～320?℃的半导体设备用全氟醚橡胶密封制品的制造、检验。