T/ZZB 3949-2025 阻焊制程激光直写式光刻设备

标准编号：T/ZZB 3949-2025

中文名称：阻焊制程激光直写式光刻设备

发布部门：浙江省质量协会

发布日期：2025-12-20

实施日期：2025-12-31

标准状态：现行

标准页数：16页

内容简介：本文件规定了阻焊制程激光直写式光刻设备(以下简称“光刻设备”)的基本要求、结构与工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标识、标志、包装、运输和贮存、产品随机文件和质量承诺。本文件适用于印制电路板及集成电路封装基板制造过程中,利用激光直写成像技术在基板上形成阻焊图形的光刻设备。