T/CSCP 0059.4-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第4部分：元器件选型及测试

标准编号：T/CSCP 0059.4-2025

中文名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第4部分：元器件选型及测试

发布部门：中国腐蚀与防护学会

发布日期：2025-09-01

实施日期：2025-10-01

标准状态：即将实施

标准页数：12页

内容简介：本文件规定了微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,以下简称MEMS)材料腐蚀芯片及传感器的元器件技术要求、测试方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于MEMS 材料腐蚀芯片及传感器的设计、制造、检验和使用过程中的元器件选型及测试。