T/CSCP 0059.1-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第1部分：通用要求

标准编号：T/CSCP 0059.1-2025

中文名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片与传感器 第1部分：通用要求

发布部门：中国腐蚀与防护学会

发布日期：2025-09-01

实施日期：2025-10-01

标准状态：即将实施

标准页数：18页

内容简介：本文件规定了微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,以下简称MEMS)材料腐蚀芯片及传感器的通用技术、设计、选材、制造及测试要求。本文件适用于各类MEMS 材料腐蚀芯片及传感器的设计、制造、检验与应用,用于腐蚀环境的监测与评估。