GB/T 15909-1995 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
标准编号：GB/T 15909-1995
中文名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)
英文名称：Gas for electronic industry--Silane
发布部门：国家技术监督局
起草单位：化工部西南化工研究院
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标准编号：GB/T 15909-1995
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