T/GVS 010-2022 真空卷绕镀膜设备通用技术要求

标准编号：T/GVS 010-2022

中文名称：真空卷绕镀膜设备通用技术要求

英文名称：Generic specification for vacuum roll-to-roll coating plant

发布部门：广东省真空学会

发布日期：2022-09-23

实施日期：2022-09-23

标准状态：现行

标准页数：11页

内容简介：本文件规定了真空卷绕镀膜设备通用技术要求的术语和定义、组成、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于真空蒸发卷绕镀膜设备、真空磁控溅射卷绕镀膜设备、真空化学气相沉积（CVD）卷绕镀膜设备。