JJF(鄂) 110-2024 晶圆材料电阻特性测试系统校准方法(片上标准电阻法)

标准编号：JJF(鄂) 110-2024

中文名称：晶圆材料电阻特性测试系统校准方法(片上标准电阻法)

发布部门：湖北省市场监督管理局

发布日期：2024-05-14

实施日期：2024-09-01

标准状态：即将实施

标准页数：14页

内容简介：本规范适用于新购进、使用中、修理后的晶圆材料电阻特性测试系统的校准。