T/ICMTIA 3-2020 集成电路用六氯乙硅烷

标准编号：T/ICMTIA 3-2020

中文名称：集成电路用六氯乙硅烷

英文名称：Hexachlorodisilane for integrated circuit

发布部门：中关村集成电路材料产业技术创新联盟

发布日期：2020-02-24

实施日期：2020-04-24