T/CASAS 060-2025 用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片

标准编号：T/CASAS 060-2025

中文名称：用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片

发布部门：北京第三代半导体产业技术创新战略联盟

发布日期：2025-08-29

实施日期：2025-08-29

标准状态：现行

标准页数：25页

内容简介：本文件规定了用于HEMT功率器件的硅衬底氮化镓外延片(以下简称“氮化镓外延片”)的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于在硅衬底上生长的用于功率电子领域的具有复合结构的氮化镓外延片的研发生产,测试分析及质量评价。